保证洁净室工程质量的必要措施之一,就是对空气过滤器进行现场扫描检漏测试,但在实际工程测试时常遇到将空气过滤器边框及过滤器安装框架处含尘浓度偏高误判为存在空气过滤器有漏点的问题,通过理论分析及大量实验研究, 提出了科学合理的空气过滤器扫描检漏测试方法。
在洁净室中,过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。因此,空气过滤器安装或更换后,必须对过滤器的安装连接处进行检漏,以确保洁净室的洁净度符合要求。
1、仪器
尘埃粒子计数器
2 、实验原理
应用光散射原理,计数测定时利用光电倍增管接受尘埃粒子反射的光以测定其大小和数量,并加以分析累计及数字显示。
3、实验方法
3.1 环境条件:温度控氧在18—26℃ ;相对湿度控氧在45—65%。
3.2 测试状态:静态测试,室内测试人员不得多于2人。
3.3 压差:针对室内不同洁净度房间而言,静压差 5Pa,洁净区与非洁净区之问静压10Pa;对工艺过程中容尘量大的房间与其他房间应保持相对负压。
3.4 测试方法
3.4.1 将尘埃粒子计数器用注射用水及75%酒精擦试消毒后再经紫外线照射30分钟传入洁净区。
3.4.2 将尘埃粒子计数器水平位置放在桌上。测量塑料管端口接插在过滤器的接嘴上。
3.4.3 打开电源。仪器进行tl检、选项后,把测量塑料管从后?板上拔下。端口放置在需要测量的位置。
3.4.4 检测时采样头离过滤器2—4aTl ,沿过滤器内边框及中间缓慢扫描,每块过滤器至少测试出5个点,观察显示数据。
4、结论
在正常条件下一般每年至少做一次对过滤器检漏测试看是否发生变化。它是洁净度试验的重要组成部分。
国标透过量法-空气过滤器检漏方法
“国标透过量法”,简称“国标法”
使用国标法判断泄漏标准是,按ISO14644-1的判漏标准:
超过滤器能检出的zui小漏孔直径为0.1mm,
过滤器能检出的zui小漏孔直径为0.2mm时,
只要扫描出局部漏点处粒子数每分钟≥3粒,就为漏。
方法是:
用28.3L/min的粒子计数器扫描检漏,当发现读数为1或大于1时认为该点为疑似漏点,在疑似漏点处停下来重新检测一分钟,如果测出粒子数≥3粒/L·min,就可以判断此处为漏点。