浅谈实用洁净室的构造形式

实用洁净室主要是根据工艺特点进行布置，在满足使用要求的前提下求得经济合理，故有典型的构造形式如下：
（1）开放式
大面积的单向流或非单向流洁净室。常用于工艺过程对各洁净区要求的洁净度等差别不大的，其特点是：
①优点：灵活性好，便于调整和变更；设计简单；空气处理系统单一。
②缺点：高运行费用；对大面积的单向流，其回风通道所占面积/空间大；防火分隔受限止，安全性差。
（2）套间式
各洁净区按工艺的工序及洁净度要求进行分隔及连通，并进行各区间的压差控制，多用于制药工业及手术部，亦常把此归入开放式内。
（3）隧道式
有二种基本形式：一是把各有关工艺设备的关键加工部位（即加工物暴露于周围空气中的部位）与设备的服务部位加以物理分隔，一般各设备的关键加工部位都面对布置，置于单向流洁净区（洁净隧道内），而设备的服务部位置于要求不严的非单向流洁净区内，以实现减少单向流洁净区的面积；另一种形式是把各工艺设备的关键加工部位置于非单向流洁净隧道的罩流层下，其它都同前。