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洁净度（级） | 换气次数（层流） （次/h） | 新风量 （次/h） | 使用末端过滤器的效率 | ||
SI | English unit | 99.97% | 99.5% | ||
M3.5 | 100 | 250-650 | 10-20 | ○ | -- |
M4.5 | 1,000 | 100-200 | 5-10 | ○ | -- |
M5.5 | 10,000 | 50-70 | 2-4 | ○ | 换气次数的增加 ○70—90 |
M6.5 | 100,000 | 20-30 | 1-2 | ○ | 换气次数的增加 ○30—50 |
* 1：试验用尘埃颗粒 JIS13种的效率（0.3umDOP）
* 2：试验用尘埃颗粒 JIS14种的效率（0.5umDOP）
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