1、维持洁净室正压的目的
《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001中规定,“洁净室与周围的空间必须维持一定的压差,并应按生产工艺要求决定维持正压差或负压差”。还规定,“不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5Pa,洁净区与室外的压差应不小于10Pa”。
维持洁净室的压差是为了防止周围比它低级别的洁净空间、非洁净空间或室外空气的渗入和倒灌,影响洁净室洁净度的重要措施。洁净室失去了正压,也可以说失去了洁净度,不称其洁净室了。由此可见维持洁净室正压的重要意义。洁净室的正压是指洁净室门窗关闭条件下的正压值。
2、洁净室的正压漏风量
洁净室正压是通过调节洁净室送风量要比回风量与排风量之和大一个正压漏风量而实现的。
洁净室的正压漏风量的大小,不仅与维持的正压值的大小有关,同时还与洁净室的密闭程度有关。
洁净室的正压漏风量可用缝隙法计算,也可用换气次数估计。