洁净室悬浮粉尘的测定仪器及测定方法

测定洁净室空气中的悬浮粉尘的方法一般有以下两种：
1、悬浮测定法对悬浮在空气中的粉尘进行直接测量，此种方法称为直接浓度测定法。
2、捕集测定法将空气中的悬浮粉尘单独捕集在滤纸、玻璃盖片上或蒸馏水中，然后测其浓度的方法称为间接测定法。这种测定方法需要捕集粉尘和定量分析两步操作，因此，通常需花费很多时间，并且操作要熟练。
按不同的测定方法进行分类的测定仪器有多种，无尘车间如小流量空气采样器、大流量空气采样器、数字粉尘计以及粒子计数器，而这里只介绍用于洁净室内的测定仪器一粒子计数器。
粒子计数器（光散射式粒子计数器或者其他类型粒子计数器），该检测器使待测空气成为细流束流造散射腔区域，光源从侧面照射腔内，每个粒子的散射光以电流脉冲形式接收下来，散射光的强度与粒子表面积成正比，粒子尺寸越大，散射光强度越大，其电流脉冲信号越强。检测器根据其脉冲信号的辐度和累计个数自动检测出不同粒径的粒子个数。